产品与应用
碳化硅机械手臂
- 碳化硅机械手臂（碳化硅机械手)，主要在半导体设备中起到输送搬运晶圆的作用。
- HuaCera®常压烧结碳化硅陶瓷纯度高（>99.9%）、高比刚度，高硬度、耐磨性极佳，高致密度，在真空环境下无Particle以及化学清洗的污染问题，具有良好的绝缘性、良好的抗腐蚀性，是用于制作半导体设备机械手臂的绝佳材料。
- 华硕精瓷为半导体陶瓷加工商提供图纸定制碳化硅陶瓷机械手臂零部件的材料毛坯。
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