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• 产品特点：高平面度，高平行度，高使用寿命
• 产品应用：RTP(快速热处理)载盘，用于半导体制程中快速升降温热处理，如退火、掺杂和氧化。CMP(化学机械抛光)载盘，用于晶圆抛光。
