产品与应用
碳化硅精密结构部件
- 使用HuaCera®碳化硅陶瓷可制作的精密结构部件有：XY磁钢支架、Block晶圆台，Stage工作台部件、反射镜等。华硕精瓷碳化硅精密结构部件可提供精确的尺寸稳定性、超平整度和光滑度，提高晶圆台和工作台的耐用性和操控性。
- 华硕精瓷按照客户来图定制加工。基于华硕精瓷的高品质材料控制优势和轻量化加工能力，我们可以为后段精密陶瓷加工厂提供常压烧结碳化硅材料毛坯，也可以基于对高精密加工资源的有效管理提供高精密碳化硅陶瓷结构部件成品。
- 碳化硅导轨：具有卓越的耐磨性和抗腐蚀性、高弹性模量、高比刚度、低变形，应用于精密运动平台模块。
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