产品与应用
碳化硅高温炉管
HuaCera®碳化硅高温炉管的产品特性：
- 高抗氧化性——大气气氛中可承受高达 1800°C 的高温
- 高纯度与致密性：碳化硅含量超过99%，致密性好，可承受高压与抽真空环境，且不会污染物料，满足高洁净工艺需求
- 对多种化学品具有出色的耐腐蚀性
- 机械强度高，耐腐蚀、耐磨损
- 优异的耐热循环性能
典型应用
- 管式炉工艺炉管
- 半导体退火炉炉管
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产品与应用
碳化硅高温炉管
HuaCera®碳化硅高温炉管的产品特性：
典型应用
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